分子式：CF4
　　分子量：88.01
　　CAS號(hào)：75-73-0
　　性質(zhì)：又稱四氟甲烷。
　　(tetrafluormathane)。無(wú)色無(wú)臭味氣體。不燃。熔點(diǎn)-184℃。沸點(diǎn)-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡膠，也可用作制冷劑、絕緣氣體。可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中等離子蝕刻、表面清洗，并用作太陽(yáng)能電池氣體，激光器工作介質(zhì)。及超低溫制冷劑，氣體絕緣劑、微電子工業(yè)中等離子體化學(xué)干刻劑以及火箭方向的控制。高濃度對(duì)人體有麻醉作用。
　　用途：用于致冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。也用于制作低溫液體壓力計(jì)或作為惰性氣體，或用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝和激光氣體。

　　產(chǎn)品指標(biāo)：

洛陽(yáng)特來(lái)化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)
項(xiàng)目名稱	指標(biāo)純度
四氟化碳（CF4）.%	≥99.999	≥99.995	≥99.99
氮?dú)猓∟2）.ppmv	≤4	≤20	≤40
氧氣（O2）.ppmv	≤1	≤5	≤10
二氧化碳（CO2）.ppmv	≤1	≤5	≤10
一氧化碳（CO）.ppmv	≤0.3	≤0.5	≤1
六氟化硫（SF6）.ppmv	≤1	≤1	≤5
水份（H2O）.ppmv	≤1	≤5	≤10
酸度（HF）.ppmv	≤0.1	≤0.3	≤0.3
氟碳化合物（TFC）.ppmv	≤1	≤10	≤30
注：氟碳化合物CH3F（R41）、CH2F2（R32）、CHF3（R23）、C2F6（R116）、C3F8（R218）等。

　　產(chǎn)品包裝：

鋼瓶規(guī)格（DOT)	48.8L	47L	40L	10L	4L
鋼瓶閥	CGA580/CGA590/CGA320